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為什么激光共聚焦顯微鏡成像質(zhì)量更好?

更新時間:2023-08-22點擊次數(shù):1016

激光共聚焦顯微鏡原理是由LED光源發(fā)出的光束經(jīng)過一個多孔盤和物鏡后,聚焦到樣品表面。之后光束經(jīng)樣品表面反射回測量系統(tǒng)。再次通過MPD上的針孔時,反射光將只保留聚焦的光點。最后,光束經(jīng)分光片反射后在相機上成像。

 

 

為什么激光共聚焦顯微鏡成像質(zhì)量更好?

1、激光共聚焦顯微鏡采用了激光掃描技術(shù)。與傳統(tǒng)顯微鏡的廣譜光源相比,激光掃描技術(shù)能夠精確定位和聚焦在樣品的特定區(qū)域,從而提高成像的分辨率和準確性。同時,激光掃描技術(shù)可以消除樣品中的散射和背景信號,從而提高成像的對比度。同時,激光的單色性使得成像更清晰。

 

2、激光共聚焦顯微鏡具有較大的光學孔徑(顯微鏡接收到樣品發(fā)出的光的能力)和高數(shù)值孔徑物鏡(鏡頭的放大倍數(shù)),使成像更清晰細致。

 

3、激光共聚焦顯微鏡使用的是探測元件是高靈敏度的光電倍增管,對微弱的熒光信號可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度,并且還可以通過縮小激發(fā)范圍并使用光學切片來消除背景噪聲。配備高靈敏度的光電二極管探測器,使得激光共聚焦顯微鏡能夠快速并精確地檢測光信號,并將其轉(zhuǎn)換為電信號。

與傳統(tǒng)的光學觀察不同,光電二極管探測器可以實現(xiàn)單個光子的檢測,使得成像更加敏感和準確。這種高靈敏度的探測器在低光強條件下也能夠獲得清晰的圖像。

 

VT6000激光共聚焦顯微鏡基于針孔點光源的共軛共焦原理,具有納米級別的縱向分辨能力,配合高速掃描模塊,專業(yè)的分析軟件具有多區(qū)域、自動測量功能,能實現(xiàn)快速自動化測量,并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對表面質(zhì)量進行表征。

圖片2.jpg

VT6000激光共聚焦顯微鏡依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復雜的結(jié)構(gòu)形狀。如:

1.對太陽能電池片微觀結(jié)構(gòu)進行三維形貌重建:

圖片3.jpg

2.快速重建出被測晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進行多剖面分析,獲取截面的槽道深度與寬度信息:

圖片4.png

3.對光學膜表面微結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速自動化測量,提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對表面質(zhì)量進行表征:

圖片5.png

 

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