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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀SuperViewW13d輪廓儀
3d輪廓儀

產(chǎn)品簡介

以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器??梢赃_(dá)到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品型號:SuperViewW1
更新時間:2024-05-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1645
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以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高??蒲性核阮I(lǐng)域中。


中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器??梢赃_(dá)到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。


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應(yīng)用

光學(xué)透鏡檢測】

球面透鏡在可見光領(lǐng)域是一種基礎(chǔ)光學(xué)器件,其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響,中圖儀器SuperView W1 光學(xué)3d輪廓儀可以對這兩項參數(shù)同時進(jìn)行檢測。

650曲率半徑和表面粗糙度檢測.jpg

某型號雙膠合透鏡的曲率半徑和表面粗糙度檢測


玻璃表面臺階檢測】

透明玻璃表面鍍的一層金屬膜,因為其非透明特性,薄膜測厚儀沒有辦法測膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級別的,不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺階儀,都存在測量誤差,而中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀的測量精度達(dá)到亞納米級,可以對膜層厚度進(jìn)行一鍵測量。

650對兩臺階高的檢測.jpg

儀器軟件對兩臺階高的檢測




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