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除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，光學(xué)表面輪廓儀品牌SuperViewW1具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

SuperViewW1國(guó)產(chǎn)光學(xué)輪廓儀品牌測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量?？蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面輪廓儀可對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量，主要對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

CHOTEST中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀品牌SuperViewW1采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

SuperViewW13d光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓儀粗糙度檢測(cè)儀器以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。